CVD의 뜻과 특징
CVD란, 열, 전계, 빛 등의 외부 에너지를 사용하여 원료가스를 분해시켜 화학적 기상반응으로 기판상에 박막을 형성시키는 기술이다. 보통의 고체상, 액체상의 반응에서는 얻기 어려운 화학조성의 박막도 쉽게 제작할 수 있으며, 원료가스에 따라 임의의 박막을 얻을 수 있고, 전기적 특성, 기계적 특성 등의 기능을 기판에 부여할 수 있다. 일반적으로 CVD는 막조성의 제어가 어렵지만 대면적, 대량의 표면처리를 비교적 간단하게 할 수 있으므로 반도체와 세라믹 분야에서 실용되고 있다. CVD는 사용하는 외부 에너지에 따라 열 CVD, 플라스마 CVD, 광 CVD 등으로 분류된다. 특히 플라스마 CVD는 다른 CVD에 비하여 저온에서 성막이 가능하고 또한 대량 처리가 가능하기 때문에 근년 가장 많이 이용되고 있는 방..
2019. 10. 3.